Практический пример: Трубчатая печь из плавленого кварца-Amy
Издание: June 24, 2026
1. История клиента
Производитель 8-дюймовых мощных полупроводников использует вертикальные диффузионные печи при 1050°C для окисления и допинга.Инфракрасная проницаемость и устойчивость к девитрификации.
2. Оригинальные выпуски с обычными силиконовыми трубками
Бывшие полированные пламенем трубы JGS1 вызывали множество производственных дефектов:
- Высокое содержание ОГ приводит к плохому инфракрасному проникновению и неравномерному температурному полю, снижающему урожайность пластины.
- Высокое количество металлических примеси вызывает быструю девитрификацию и частые трещины; трубы должны заменяться каждые 45 дней.
- Маткие орехи, полированные пламенем, приводят к плохой вакуумной герметичности и нестабильной концентрации процесса газа.
3. Оптимизированное решение: FS03 Кремниевые трубки
- Материал: FS03 вакуумный расплавленный кремний, SiO2 ≥ 99,995%, OH− < 10 ppm, сверхнизкие примеси.
- Поверхность: полностью прозрачная зеркальная полировка труб, фланцев и кварцевых гайков (без полировки пламенем).
- Структура: толстая стена, сварка с ослаблением напряжения для повышения устойчивости к тепловым ударам.
4Результаты испытаний и производства
- Разница температуры внутри печи уменьшается с ±12°C до ±3°C.
- Урожайность пластин увеличилась на 6,8%; срок службы увеличился с 45 дней до 180 дней.
- Снижение неисправностей вакуумных утечек на 95%; меньше остановок производства для замены труб.
5Заключение.
Прозрачные полированные трубки для печи FS03 решают риски равномерности температуры и загрязнения, снижают затраты на техническое обслуживание и повышают стабильное массовое производство полупроводниковых тепловых процессов.
