Заказ высокой чистоты фланцевой кварцевой трубки проектный корпус. Сплавленная кремниевая труба с интегрированным фланцем для полупроводников CVD трубы печи вакуумный реактор-сара
Издание: June 22, 2026
Случай проекта: специальная высокочистая фланцевая кварцевая стеклянная трубка
Обзор дела
Этот случай касается производства на заказ фланцевых кварцевых труб для зарубежного производителя полупроводникового оборудования.высокотемпературные расплавленные трубы из кремния с встроенными кварцевыми фланцами для их реакционной камеры CVD и высокотемпературной отжигательной печиМы предоставили полную индивидуализацию, включая размер труб, расположение отверстий, толщину стены и высокотемпературную сжигание.решая их давние проблемы с утечкой трубопроводов, высокое загрязнение примесями и частые трещины труб во время теплового цикла.
Проблемы клиента перед сотрудничеством
- Оригинальные боросиликатные стеклянные трубы деформировались при рабочей температуре выше 900°C, что привело к утечке фланцевого соединения и нестабильной вакуумной среде.
- Обычные сварные кварцевые трубы без отжига легко трескаются после повторных циклов холода и жары, высокая стоимость замены и потеря времени простоя производства.
- Неконтролируемая толерантность размеров фланцев, плохое соответствие с металлическими уплотнителями клиента, низкая производительность обработки.
- Сниженная чистота кварцевого сырья привела к загрязнению ионами металла, что повлияло на точность обработки пластинок.
Наше индивидуальное решение для кварцевых фланцев
- Выбор материала: Используйте 99,99% синтетический высокочистый расплавленный кремний с низким содержанием гидроксила, без металлических примесей, совместимый с полупроводниковым ультрачистым процессом.
- Интегрированный фланц для горячей сварки: кварцевый фланц с интегральным сплавом на одном / обоих концах корпуса трубки, высокопрочный сварный шва, полностью отжигаемый для устранения внутреннего напряжения, устойчивый к тепловому удару.
- Точная обработка с помощью ЧПУ: внешний диаметр, толщина стенки, длина трубки, внешний диаметр фланца, положение отверстия болта и диафрагма с строгим допуском ± 0,02 мм.
- Поверхностная обработка: внутренняя и внешняя стенки труб полированы пламенем, гладкие без пузырей, царапин или микро трещин, отличная ультрафиолетовая и видимая светопроницаемость.
- Структурная настройка: Поддержка одного фланца, двойных фланцев, закрытого купольного дна, толстостенной высокоупорной структуры в соответствии с требованиями заказчика.
Доставка и фактический эффект работы
Мы завершили подтверждение образца, пробный заказ и массовое производство в течение 12 рабочих дней, завершили полную измеренную проверку, высокотемпературный тест старения и тест на вакуумную герметичность перед отгрузкой. После установки заказчиком и длительной непрерывной эксплуатации:
- Никаких утечек при высоком вакууме и непрерывной рабочей температуре 1150°C;
- После 100+ тестов на тепловых циклах не происходит трещин, срок службы увеличивается более чем в 3 раза;
- Никаких осадков с примесями, урожайность продукта пластины улучшилась на 16%;
- Стандартный размер фланца идеально совпадает с существующими деталями крепления и уплотнения клиента, значительно сокращая время сборки оборудования.
