Кварцевая трубка CVD для турецкого полупроводникового клиента-Ами

1. Обзор проекта

• Заказчик: турецкий производитель оборудования CVD
• Продукт: высокочистая расплавленная кварцевая трубка из кремниевого стекла
• Материал: низкогидроксильный кварц JGS2
• Применение: высокотемпературная реакционная камера для покрытия пластин

2Проблемы клиента

1. Обычные трубки из кварца легко девитрифицируются при непрерывном нагревании до 1100°С.
2. Неравномерная толщина стенки влияла на равномерность нагрева и качество пластины.
3. Отдельные сертификаты испытаний материалов и отчеты о размерах сложные аудиты заводов.
4. Долгое время производства от старого поставщика задержало поставку оборудования.

3Наши решения

1. Принять сырье JGS2 с низким содержанием гидроксилов для устойчивости к высокотемпературному задымлению.
2. Точная вращающаяся формовка для контроля допустимой толщины стенки в пределах ± 0,1 мм.
3. Объединить материалы ТК и измерения данных инспекции в один полный отчет.
4. Устроить специальную производственную линию для сокращения цикла доставки.

4Результаты сотрудничества

• Никакая девитрификация после длительной работы печи, улучшая урожайность пластин.
• Стабильные ежемесячные оптовые заказы после пробных испытаний.
• Упрощенные процедуры аудита благодаря интегрированным документам сертификации.
• Клиент познакомил нас с двумя местными партнерами по полупроводникам.

5. Рыночный анализ