Непрозрачные перфорированные кварцевые листы: высокоотражающие материалы для тепловой защиты от излучения для полупроводниковой промышленности

Обзор проекта

• Клиент: Корейский производитель компонентов фотоэлектрического оборудования

• Продукт: непрозрачные кварцевые перфорированные листы (для защиты от теплового излучения в печах PECVD)

• Поставщик: Lianyungang Shengfan Quartz Products Co., Ltd.

• Материал: высокочистый непрозрачный (молочный/опалесентный) кварц

• Ключевые свойства: инфракрасное отражение ≥ 85%, теплопроводность ≤ 1,4 W/m·°C

• Применение: теплоизоляционные облицовки для графитовых восприимчивых элементов в фотоэлектрических трубных печах PECVD, теплоизоляционные защитные слои для диффузионных печей,защитные покрытия для высокотемпературных камер тепловой обработки

• Основные процессы: резка диамантной проволоки, прецизионная резьба с помощью ЧПУ, двустороннее лапирование, безотводная отделка краев, прецизионная перфорация

Первоначальные болевые точки клиента

1Недостаточная теплозащита с прозрачным кварцем

Клиент ранее использовал прозрачные кварцевые пластины в качестве радиационных щитов в своих трубных печах PECVD.в результате чего чрезмерное тепло достигает внешних стен печиЭто привело к ускоренному старению периферийных О-колечек, датчиков и линий водоохлаждения, что потребовало отключения технического обслуживания каждые 4-6 недель, что значительно увеличило затраты на простои.

2Сцепленная конструкция, приводящая к утечке тепла и механическим неисправностям.

Предыдущий поставщик мог производить только небольшие непрозрачные кварцевые плиты (максимум 300×200 мм), требующие скрещивания нескольких частей для больших площадей ограждения печи.При рабочей температуре около 400°CКроме того, несовместимое тепловое расширение между скрещенными секциями привело к ослаблению светильников и смещению пластины.ухудшает эффективность защиты и иногда приводит к перелому пластины.

3Недостаточная точность перфорации вызывает трудности с установкой

Каждая защитная плита требовала нескольких отверстий для позиционирования и каналов воздушного потока.с грубыми отверстиями, склонными к трещинамЭто вынуждало заказчика вручную перерабатывать каждую поставку, что занимало около 30 минут на плитку, что значительно задерживало графики сборки печи.

Наши целевые решения и преимущества

1Высококачественный непрозрачный кварцевый материал с превосходным тепловым отражением

Мы выбрали высокочистые непрозрачные кварцевые полоски с однородно распределенными микропузырями (диаметр 10 ‰ 100 мкм, содержание ≥ 20%), достигнув инфракрасного отражения ≥ 85% по всей 2.Диапазон длины волны 516 мкмТеплопроводность всего 1,4 Вт/м·С существенно превосходит прозрачный кварц (1,6·1,8 Вт/м·С), эффективно блокируя передачу радиационного тепла на внешнюю стенку печи.Коэффициент теплового расширения материала по своей сути низкий (5.4×10−7/°C) обеспечивает превосходную термоупорность, предотвращая перелом или деламинацию при повторном тепловом цикле.

2. Большой формат одночасовой формования устранения пробелов сцепления

Используя наши крупноформатные центры обработки с помощью ЧПУ, мы можем производить непрозрачные кварцевые пластины размером до 800 × 600 мм, полностью устраняя пробелы в сцеплении и связанные с ними проблемы с тепловой утечкой.Для различных моделей печей заказчика, мы предлагаем полную серию одночленных решений в диапазоне от 200×200 мм до 650×450 мм, обеспечивая бесшовную интеграцию с существующими конструкциями оборудования.

3. Точное перфорация обеспечивает точную установку

Используя центры сверления с ЧПУ, оборудованные бриллиантовыми сверляльными блоками, мы постоянно достигаем:

• Допустимость диаметра отверстия: ±0,02 мм

• Точность расположения отверстия: ±0,03 мм

• Грубость стенки отверстия после полировки: Ra ≤ 0,4 мкм

• Окраины отверстий, свободные от откосов и щелей

Такая точность исключает необходимость в ручной переработке, что позволяет немедленно установить при получении.

Результаты сотрудничества и отзывы клиентов

1Значительное улучшение тепловой защиты

После трех месяцев непрерывной работы в трубных печах PECVDНепрозрачные кварцевые перфорированные листы достигли снижения температуры примерно на 45 °C на поверхности наружной стены печи по сравнению с предыдущим прозрачным кварцевым раствором.Продолжительность службы периферийных компонентов (O-кольца, датчики, охлаждающие линии) увеличилась с 4−6 недель до более чем 6 месяцев, сократив частоту технического обслуживания на 75%.

2Эффективность сборки значительно улучшилась

Одночастичная конструкция исключила процедуры скрещивания, в то время как высокоточное расположение отверстий позволило устанавливать вставку.Время сборки печи на единицу было сокращено с примерно 2 часов до 45 минут, что позволило клиенту ускорить график наращивания производства..

3Продолжительность жизни продукта превысила ожидания

В условиях непрерывной работы при температуре 400°С первая партия из 800 штук прослужила более 12 месяцев без переломов, деформаций,или поверхностного деламинирования, достигая в четыре раза большего срока службы, чем продукция предыдущего поставщика..