Профессиональная обработка кварцевой пластины с высоким светопропусканием-Mia
Издание: June 23, 2026
Обзор случая
Этот проект представляет собой массовую настройку высокоточных сверхплоских кварцевых пластин для зарубежного поставщика оптоэлектронного и полупроводникового оборудования. Основные области применения клиента включают прецизионное оптическое обнаружение, передачу ультрафиолетового света, вспомогательный подшипник пластины и изоляцию полостей при высоких температурах, требующие сверхвысокой плоскостности, превосходного коэффициента пропускания света, стабильных высокотемпературных характеристик и качества поверхности с нулевым содержанием примесей. Мы предоставили комплексное индивидуальное решение, включая выбор материалов высокой чистоты, сверхточную двустороннюю полировку, термообработку без напряжений и сверхчистую отделку. Решение эффективно устраняет дефекты обычных стеклянных листов и кварцевых пластин низкой точности, обеспечивая высокостабильную и высокопроизводительную работу прецизионного оборудования клиента.
Болевые точки клиента перед сотрудничеством
Обычные стеклянные пластины и обычные кварцевые листы обладают плохой устойчивостью к высоким температурам, склонны к термической деформации и короблению поверхности при длительном нагреве, что приводит к неточному оптическому обнаружению и нестабильной работе оборудования.
Пластины из низкосортного кварца содержат внутренние пузырьки, микроцарапины и примеси, которые уменьшают пропускание УФ-излучения, вызывают неравномерное пропускание света и мешают точности оптических испытаний и стабильности обработки пластин.
Изделия с неполированной или односторонне полированной поверхностью имеют плохую плоскостность и шероховатую текстуру, легко вызывают осыпание частиц в процессе работы оборудования, вызывая микрозагрязнение прецизионных компонентов и пластин.
Неконтролируемые допуски по толщине и плоскостность поверхности приводят к плохой точности сборки, неравномерному расстоянию между световыми лучами и нестабильной плоскостности подшипников, что значительно снижает производительность испытаний продукции и повторяемость оборудования.
Наше индивидуальное решение для кварцевых пластин
99,99% кварцевая подложка высокой чистоты: Использование плавленого кварца сверхвысокой чистоты с чрезвычайно низким содержанием ионов металлов и гидроксилов. Подложка отличается превосходной химической инертностью, устойчивостью к высоким температурам и сверхнизким уровнем дефектов, что гарантирует отсутствие осаждения примесей или загрязнений в высокоточных рабочих средах.
Сверхточный процесс двусторонней полировки: Внедрить профессиональную технологию двусторонней зеркальной полировки. Кварцевая пластина обеспечивает сверхвысокую плоскостность без царапин, ямок и микрочастиц на обеих поверхностях, обеспечивая равномерное пропускание света и стабильные характеристики оптического пути.
Вторичный отжиг для снятия напряжений: Все готовые кварцевые пластины подвергаются высокотемпературному отжигу для устранения внутренних производственных напряжений. Продукция отличается чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения, эффективно сопротивляясь деформации и короблению при повторяющихся изменениях температуры.
Ультрачистая суперфинишная обработка: Применяйте многоступенчатую сверхчистую кислотную очистку и процедуру упаковки без пыли. Поверхность сохраняет высокую чистоту и высокий коэффициент пропускания света, адаптируясь к УФ-оптическим системам, вспомогательным полупроводниковым процессам и экспериментальным средам высокой чистоты.
Многоразмерная и точная настройка: Поддержка индивидуальной толщины, размеров, снятия фасок и обработки сверхплоской поверхности. Доступны стандартные квадратные, круглые кварцевые пластины и кварцевые пластины специальной формы, отвечающие требованиям оптического обнаружения, изоляции оборудования, подшипников пластин и лабораторных требований по согласованию при высоких температурах.
Достижения проекта и отзывы клиентов
Мы завершили подтверждение образцов, прецизионные испытания размеров и стабильную поставку партий. Все изготовленные по индивидуальному заказу сверхплоские кварцевые пластины высокой чистоты прошли строгий контроль плоскостности, испытание на светопроницаемость, испытание на высокотемпературную стабильность и определение чистоты.
После длительной эксплуатации и отладки оборудования изготовленные по индивидуальному заказу кварцевые пластины сохраняют отличные рабочие характеристики. В условиях постоянного воздействия высоких температур и УФ-излучения не происходит никакой деформации, коробления или ослабления света. Сверхчистая и сверхплоская поверхность эффективно предотвращает загрязнение частицами и оптические отклонения, значительно повышая точность обнаружения и выход продукта. Стабильная размерная стабильность обеспечивает точную сборку и долгосрочную стабильность работы оборудования, помогая клиенту снизить затраты на техническое обслуживание и повысить общую конкурентоспособность продукции.
