Кварцевая трубка от их старого поставщика генерировала пузыри при высокой температуре, загрязняя кремниевые пластины и снижая выход процесса отжига - Анна

Предыстория проекта

Немецкий производитель полупроводниковых материалов столкнулся с проблемой: кварцевые трубки от их старого поставщика образовывали пузыри при высоких температурах, загрязняя кремниевые пластины и снижая выход годных изделий в процессе отжига. Им требовались кварцевые держатели сверхвысокой чистоты с ультранизким содержанием OH и строгими стандартами по гидроксильному числу, допускам на размеры и термостойкости, которые могли бы стабильно работать в вакуумной среде при 1100°C в течение длительного времени.

Наше решение

1. Использование плавленого кварца с обработкой вакуумной дегидроксиляцией, содержание гидроксилов контролируется ниже 10 ppm, с сертификатом спектральной чистоты, прилагаемым к каждой партии.

2. Цельная обработка полировкой на станках с ЧПУ, допуск на размеры ±0,02 мм, края без заусенцев для предотвращения царапин на пластинах.

3. Специальная конструкция с толстыми стенками для повышения устойчивости к термическому шоку, отсутствие трещин после многократного быстрого нагрева и охлаждения.

Результат сотрудничества

Первый пробный заказ из 500 штук прошел все испытания. Мы подписали годовой рамочный контракт с ежемесячным стабильным заказом на 3000 кварцевых лодочек. Выход годных пластин у клиента увеличился на 12%. Позже они также приобрели соответствующие кварцевые фланцы и трубки-держатели, с годовым объемом продаж, достигшим 180 000 долларов США.