Высокочистые кварцевые пластинки становятся основными расходными материалами для вакуумных печей
2026/07/10
Высокочистые кварцевые вафлеры-носители (кварцевые лодки) являются важнейшими приспособлениями внутри полупроводниковых вакуумных печей для процессов отжига, LPCVD, окисления и диффузии.
Сделанные из 99,995% расплавленного кремния, они имеют сверхнизкий уровень металлических примеси, чтобы избежать загрязнения пластин под высоким вакуумом.носители сохраняют размерную стабильность при повторных тепловых циклах 1000-1200 °C, устойчивы к тепловому удару и деформации.
Химически инертные для фтора, кислотных и носителей газов, полированные гладкие поверхности уменьшают выпадение частиц и царапины.Точные канавки обеспечивают равномерное расстояние между пластинами для равномерного потока тепла и газа, стабилизация толщины пленки и электрические характеристики.
Для горизонтальных и вертикальных вакуумных трубных печей доступны индивидуальные размеры для 4/6/8/12 дюймовых пластин.поддержка массового производства чипов, солнечные батареи и оптоэлектронные материалы.
