Модернизированная технология прецизионной обработки пазов делает возможным использование высококачественных кварцевых пластин для производства полупроводников и оптоэлектроники-Mia
2026/06/22
Являясь основным продуктом высококачественных кварцевых компонентов глубокой обработки, кварцевые шлицевые пластины отличаются сверхвысокой чистотой, точностью прорези на микронном уровне, превосходной устойчивостью к высоким температурам и коррозии, служат важными базовыми компонентами для производства полупроводников, оптоэлектронной связи, прецизионного оборудования и производства новой энергии. Благодаря постоянным прорывам в отечественных технологиях, включая прецизионную холодную обработку, микро-нано-прорезь и постобработку без напряжений, высококачественные отечественные кварцевые пластины с прорезями полностью отказались от обширных режимов обработки. Их точность, производительность и эксплуатационная стабильность были значительно улучшены, что ускорило импортозамещение и стало новым драйвером роста в индустрии кварцевых расходных материалов.
Кварцевые пластины с прорезями, изготовленные из прозрачных кварцевых подложек высокой чистоты путем тщательной резки, точной прорези, полировки и снятия напряжений, представляют собой специальные кварцевые конструкционные детали, изготовленные по индивидуальному заказу. В отличие от обычных плоских кварцевых листов, они характеризуются точно контролируемой структурой пазов, одинаковыми размерными допусками и сверхплоскими режущими поверхностями без заусенцев. Применяя низкогидроксильные процессы с чистотой субстрата более 99,99%, продукты могут выдерживать температуры выше 1100°C и обеспечивать превосходное пропускание глубокого ультрафиолета, стабильные химические свойства и нулевое осаждение металлов. Полностью соответствующие строгим требованиям чистоты и высокотемпературным условиям работы в высокотехнологичном производстве, они являются основными поддерживающими компонентами прецизионного подшипника, позиционирования, светопропускания и изолирующего оборудования.
Технологические инновации служат основной движущей силой модернизации отечественной промышленности по производству кварцевых пластин. В прошлом высокоточные кварцевые долбежные изделия основывались на импортном технологическом оборудовании и зарубежных технологиях, из-за которых возникали большие ошибки в расстоянии между пазами, грубые поверхности резания, сколы кромок и высокотемпературная деформация, что ограничивало их применение в обычных сценариях низкого уровня. За последние годы отечественные предприятия полностью модернизировали свои прецизионные обрабатывающие системы, оснащенные высокоточным лазерным долбежным оборудованием и интегрированным оборудованием для микрорезки с ЧПУ. Модернизированная производственная линия поддерживает прецизионную обработку по индивидуальному заказу с шириной пазов от 0,1 мм до 5 мм и глубиной пазов от 0,05 мм до 10 мм, что позволяет точно регулировать форму пазов, расстояние между ними и параллельность на протяжении всего процесса и полностью решать давние отраслевые проблемы, такие как фрагментация, заусенцы и остаточные напряжения обработки.